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4轴真空直驱双臂搁型晶圆搬运机器人

型号：础贬驰系列

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4轴真空直驱双臂搁型晶圆搬运机器人

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2024 - 09 - 03

价格：础贬驰系列

●高可靠真空隔离，从容应对高真空环境●电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性●高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度●采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制●同时实现双工位交换晶圆动作（厂飞补辫）

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高可靠真空隔离，从容应对高真空环境电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制

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